出出现可测量的变化。在单台设备上看似稳定的工艺流程,在多台设备上可能会出现分布不均的情况。 因此,设备匹配至关重要。晶圆厂依靠黄金设备基线、跨设备校准和高级工艺控制 (APC:advanced pro
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发布时间:02:15:47